微電子行業用反滲透設備
一、微電子行業用反滲透設備概述
微電子技術隨著集成電路,特別是大型規模集成電路而發展起來的一門新的技術,微電子技術是高科技和信息產業的核心技術。微電子行業用反滲透設備采用先進的膜分離技術,有效去除水中的各種雜質,出水水質符合行業用水需求。微電子行業用反滲透水處理設備運行安全可靠,性能穩定,自動化程度高,在行業內得到了廣泛的應用。
二、微電子行業用反滲透設備組成
預處理:一般包括原水泵、加藥裝置、石英砂過濾器、活性炭過濾器、精密過濾器等。其主要作用是降低原水的污染指數和余氯等雜質的含量,從而達到反滲透設備的進水要求。預處理系統的設備配置應該根據原水的水質情況而定。
反滲透:主要是由多級高壓泵、反滲透膜元件、膜殼(壓力容器)、支架等組成。其主要作用是去除水中的鹽類,使出水滿足使用要求。
后處理:是在反滲透設備出水不能滿足用水要求的情況下增加的配置。主要包括陰床、陽床、混床、殺菌、超濾、EDI等,根據具體用水要求選擇其中的一種或者多種設備。
清洗:主要有清洗水箱、清洗水泵、精密過濾器組成。當反滲透設備受到污染,出水指標不能滿足用水要求時,需要對反滲透設備進行清洗使之恢復功能。
電氣控制:是用來控制整個反滲透系統的正常運行。包括儀表盤、控制盤、各種電器保護、電氣控制柜等。
三、微電子行業用反滲透設備工藝流程
原水→原水箱→原水泵→多介質過濾器(石英砂過濾器)→活性炭過濾器→軟水處理器(添加阻垢劑裝置)→精密過濾器→高壓泵→一級反滲透(RO)裝置→紫外線殺菌裝置(臭氧殺菌裝置)→用水點
四、微電子行業用反滲透設備特點
(1)可以從海水或者苦咸水中提取淡水。
(2)容易去除有機物、細菌和膠體以及溶于水中的其它雜質,獲得高純度的水。
(3)反滲透過程作為一個物理過程,沒有相變,因而節能。
(4)操作簡單,易實現自動化,節省勞力。
(5)結構緊湊,占地小,從而降低費用。
(6)作為一種濃縮的方法,能夠回收溶解在溶液中有價值的成份。
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